本文基于数字创新扩散理论视角，以446家中国制造企业为调查对象，对制造企业数字创新的内在机制及其对不同类型的企业绩效影响关系进行探讨。结果表明：制造企业数字创新应聚焦流程数字化、产品智能化和服务数字化三个关键环节，其中流程数字化能够促进产品智能化，产品智能化对服务数字化有积极推动作用；进一步研究表明，流程数字化和产品智能化有利于企业提升创新绩效水平，流程数字化、产品智能化和服务数字化均有利于企业财务绩效提升；同时研究还发现，数字化投入持续性越强，越能增强产品智能化、服务数字化对创新绩效的促进作用，也能强化流程数字化、产品智能化、服务数字化对财务绩效的积极促进作用。本文在一定程度上揭示了制造企业数字创新实施的过程机制，细化了当前数字创新与企业绩效关系的笼统研究，深化和拓展了数字创新扩散理论。