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[중화권] ASML, 타이완서 2나노 공정 개발 나선다
2023-04-12
□ 반도체 장비 대기업 ASML이 타이완에 막대한 투자를 하고 2나노 웨이퍼 광학 계측 장비 연구개발(R&D) 제조에 대해 대만 경제부에 보조금을 신청함.
◦ ASML은 작년 타이완 투자를 확대한다고 발표한 바 있음.
- “ASML은 린커우(林口)구에 정착해 1차로 300억 위안(약 5조 8,000억 원)을 투자해 2,000명의 직원을 채용할 것”이라고 허우유이(侯友宜) 신베이(新北)시 시장이 밝힘.
◦ ASML은 타이완 투자를 확대하는 한편, 작년 2나노 웨이퍼 광학 계측 장비에 대해 타이완 경제부에 R&D 보조금을 신청함.
- 심사를 통과할 경우 50% 미만의 정부 보조금을 받게 됨.
◦ 경제부 관계자는 “현지 기술과 국산 자체 제작률을 어떻게 향상시킬지가 심사의 관건이다. 현재 타이완 공장 공급망은 이미 심자외광(DUV) 장비 중 레티클 핸들러 제조 능력을 갖추고 있다. 이번 ASML 계획안에 웨이퍼 트랜스퍼 모듈이 포함된 만큼, 이를 현지 공급망에 도입할 수 있을 것으로 기대한다”라고 말했다.
- 그는 또 “실제로 ASLM의 레티클 핸들러를 타이완에서 제조하게 되면 타이완이 전 세계 유일한 ASML의 레티클 핸들러 제조기지로 부상해 대만 제조업체의 성장을 견인하게 될 것이다. 외국인의 타이완 투자와 R&D 확대 등을 통해 현지의 공급망 기술이 지속적으로 향상하게 될 것”이라고 덧붙임.
◦ 한편 ASML의 보조금 신청 건은 2단계 실질 심사에 들어감.
- 경제부 관계자는 5월에 열리는 심의회를 통과하면 경제부의 보조금이 가시화될 것이라고 함.
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